Smartnoble — высокоточная полностью автоматическая машина для фаски краёв пластин

                                          
Автоматическая машина для фаски пластин Smartnoble — это высокоточное решение для обработки, специально разработанное для этапа производства пластин в полупроводниковой промышленности. Он точно формирует некруглые или грубые пластины в стандартные круглые пластины, одновременно выполняя точное фасо по краям. Это оборудование играет ключевую роль в повышении выхода пластин и обеспечении безопасности производства.
Система сочетает высокоскоростное шлифовальное колесо с точной платформой управления движением для обеспечения эффективного и равномерного фаска краёв. Пластины размещаются на вращательной ступени, где шлифовка применяется под контролем давления и расстояния в реальном времени, что позволяет адаптивно обрабатывать пластины различных материалов и условий.
Эта машина идеально подходит для обработки пластин, предварительной упаковки IC и реконструкции пластин — особенно для хрупких субстратов, таких как SiC и GaN.

Ключевые особенности

• Поддерживает диаметр пластин до 120 мм, идеально подходит для обычных размеров пластин.
• Обслуживает толщину пластины от 0,7 до 1,1 мм, совместимо с различными материалами, включая SiC и GaN.
• Оснащён высокоскоростным шлифовальным кругом, работающим до 6000 об/мин для сбалансированной эффективности и точности.
• Достигает допуска ширины фаски ±50 мкм и точности диаметра ±30 мкм.
• Используется платформа с точным приводом и вращающийся рабочий стол для обеспечения полного равномерного скоска на 360°.
• Полностью автоматизированный ввод/вывод пластин, совместимый с производственными системами.

Smartnoble продолжает предоставлять производителям полупроводников точность, надёжность и эффективность — максимизируя производственный выход и минимизируя вариабельность процессов.
Свяжитесь с нами:www.smartnoble.com