Раствор для влажной очистки Smartnoble: Точная очистка для требовательных микрофабрикаций
В производстве передовых микрофабрикаций и инфракрасных (ИК) устройств чистота поверхности критически важна для выхода и надёжности. Современная система влажной очистки Smartnoble специально разработана для удаления органических остатков, ионов металлов и загрязнения частицами на микронных и субмикронных уровнях — особенно в сложных процессах упаковки полупроводников и оптоэлектронных процессов.
Это оборудование идеально подходит для применения в обработке пластин InSb, производстве устройств MCT (HgCdTe/InGaSb), сборке Dewar и других критически чистых этапах. Разработанный для поддержки как автоматической погружённой очистки, так и ручной очистки, он обеспечивает исключительную гибкость и контроль процесса на ценных субстратах и точных компонентах.
Ключевые особенности и технические достижения
- Двойная конфигурация: автоматические и ручные чистящие модули
- Автоматический модуль поддерживает удаление фоторезистов, травление и проработку после экспозиции
- Ручной модуль интегрирует распыление, пузырьки, ультразвуковое перемешивание и колебания подложки для эффективной очистки сложных геометрий
- Модульный дизайн поддерживает пластины или переноски с размером 6 и 8 дюймов с настраиваемыми вариантами расположения
- Интеллектуальное управление процессами
- Мониторинг концентрации химикатов, дозировки, уровня промывки воды и состояния резервуара в режиме реального времени
- Автоматическое управление температурой, таймингом и обменом жидкости
- Совместим с промышленными платформами Ethernet и IIoT для бесшовной интеграции с умными заводскими системами
- Сертифицированная совместимость и надёжность чистых комнат
- Разработано для чистых комнат класса 100–1000
- Конструкция, устойчивая к ESD, коррозионно-устойчивая конструкция, с высоким временем работы системы и низкими требованиями к обслуживанию
- Полностью соответствует международным производственным стандартам (например, ISO, IATF)
Свяжитесь с нами:www.smartnoble.com