Решение Smartnoble для влажной уборки: прецизионная очистка для требовательных потребностей микропроизводства

В современном микропроизводстве и производстве инфракрасных (ИК) устройств чистота поверхности имеет решающее значение для выхода продукции и надежности. Современная система влажной очистки Smartnoble специально разработана для удаления органических остатков, ионов металлов и твердых частиц на микронном и субмикронном уровнях, особенно в сложных процессах упаковки полупроводников и оптоэлектроники.
Это оборудование идеально подходит для обработки пластин InSb, производства устройств MCT (HgCdTe/InGaSb), сборки Дьюара и других критически важных этапов. Разработанный для поддержки как автоматических, так и ручных операций очистки, он обеспечивает исключительную гибкость и контроль над процессом обработки высококачественных подложек и прецизионных компонентов.

Основные характеристики и технические особенности

• Двойная конфигурация: модули автоматической и ручной очистки

1. Автоматический модуль поддерживает удаление фоторезиста, травление и проявку после экспозиции
2. Ручной модуль объединяет распыление, барботирование, ультразвуковое перемешивание и осцилляцию подложки для улучшенной очистки сложных геометрических форм
3. Модульная конструкция поддерживает 6-дюймовые и 8-дюймовые пластины или носители с настраиваемыми вариантами компоновки

• Интеллектуальное управление технологическим процессом

1. Мониторинг концентраций химических веществ, дозирования, уровня промывочной воды и состояния резервуаров в режиме реального времени
2. Автоматизированное управление температурой, временем и заменой жидкости
3. Совместимость с промышленными платформами Ethernet и IIoT для бесшовной интеграции с интеллектуальными производственными системами

• Сертифицированная совместимость и надежность для чистых помещений

1. Предназначен для условий чистых помещений класса 100–1 000
2. Устойчивая к электростатическому разряду, устойчивая к коррозии конструкция, с высоким временем безотказной работы системы и низкими потребностями в техническом обслуживании
3. Полное соответствие международным производственным стандартам (например, ISO, IATF)