Раствор для влажной очистки Smartnoble: Точная очистка для требовательных микрофабрикаций

В производстве передовых микрофабрикаций и инфракрасных (ИК) устройств чистота поверхности критически важна для выхода и надёжности. Современная система влажной очистки Smartnoble специально разработана для удаления органических остатков, ионов металлов и загрязнения частицами на микронных и субмикронных уровнях — особенно в сложных процессах упаковки полупроводников и оптоэлектронных процессов.
Это оборудование идеально подходит для применения в обработке пластин InSb, производстве устройств MCT (HgCdTe/InGaSb), сборке Dewar и других критически чистых этапах. Разработанный для поддержки как автоматической погружённой очистки, так и ручной очистки, он обеспечивает исключительную гибкость и контроль процесса на ценных субстратах и точных компонентах.

Ключевые особенности и технические достижения

• Двойная конфигурация: автоматические и ручные чистящие модули

1. Автоматический модуль поддерживает удаление фоторезистов, травление и проработку после экспозиции
2. Ручной модуль интегрирует распыление, пузырьки, ультразвуковое перемешивание и колебания подложки для эффективной очистки сложных геометрий
3. Модульный дизайн поддерживает пластины или переноски с размером 6 и 8 дюймов с настраиваемыми вариантами расположения

• Интеллектуальное управление процессами

1. Мониторинг концентрации химикатов, дозировки, уровня промывки воды и состояния резервуара в режиме реального времени
2. Автоматическое управление температурой, таймингом и обменом жидкости
3. Совместим с промышленными платформами Ethernet и IIoT для бесшовной интеграции с умными заводскими системами

• Сертифицированная совместимость и надёжность чистых комнат

1. Разработано для чистых комнат класса 100–1000
2. Конструкция, устойчивая к ESD, коррозионно-устойчивая конструкция, с высоким временем работы системы и низкими требованиями к обслуживанию
3. Полностью соответствует международным производственным стандартам (например, ISO, IATF)